华海清科获得发明专利授权：“晶圆对中定位装置、传输装置、减薄设备及对中方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“晶圆对中定位装置、传输装置、减薄设备及对中方法”，专利申请号为CN202411843417.4，授权日为2025年4月15日。

专利摘要：本发明涉及晶圆对中定位装置、传输装置、减薄设备及对中方法。晶圆对中定位装置包括：对中基盘，设置有以晶圆对中中心为圆心沿周向分布且沿径向延伸的直线导轨；对中转盘，设置于对中基盘下方并且相对于对中基盘能够旋转，对中转盘的旋转中心对齐晶圆对中中心，对中转盘设置有渐开螺旋导轨；对中挡块，设置有伸出对中基盘的顶面的挡柱，对中挡块滑动安装于渐开螺旋导轨并且滑动安装于直线导轨，在对中转盘旋转时，对中挡块能够同时沿渐开螺旋导轨和直线导轨滑动，并且在对中转盘的各个圆周角度上，每个挡柱至旋转中心的中心距恒相等，用于将晶圆推至对中位置。本发明能够实现对不同尺寸晶圆的中心定位，整体简便、运行平稳、重复定位精度高。

今年以来华海清科新获得专利授权30个，较去年同期增加了130.77%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了1.71亿元，同比增23.19%。

数据来源：天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理，由智能算法生成（网信算备310104345710301240019号），不构成投资建议。