华海清科获得发明专利授权：“晶圆加工装置和晶圆加工方法”_股票频道

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“晶圆加工装置和晶圆加工方法”，专利申请号为CN202411959838.3，授权日为2025年4月15日。

专利摘要：本申请实施例提供了晶圆加工装置和晶圆加工方法。晶圆加工装置包括：清洗箱；多个用于承载晶圆的支撑轮，所述支撑轮位于所述清洗箱内，并且，多个所述支撑轮中包括检测轮，所述检测轮中设置有用于检测晶圆与所述检测轮之间的作用力的力传感器；控制器，所述控制器用于在所述晶圆被放置于所述支撑轮的放置阶段，根据所述力传感器检测到的所述作用力，确定所述晶圆相对于所述检测轮的相对位置，并在所述晶圆的相对位置满足给定的位置条件时，将当前所述晶圆的位置确定为放置所述晶圆的终点位置，以结束所述晶圆的放置。

今年以来华海清科新获得专利授权30个，较去年同期增加了130.77%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了1.71亿元，同比增23.19%。