华海清科获得发明专利授权：“测量晶圆金属薄膜厚度的方法、装置、设备和介质”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“测量晶圆金属薄膜厚度的方法、装置、设备和介质”，专利申请号为CN202411628962.1，授权日为2025年4月15日。

专利摘要：本申请实施例提供了一种抛光过程中测量晶圆金属薄膜厚度的方法、装置、抛光设备和存储介质。抛光过程中测量晶圆金属薄膜厚度的方法包括：获取当前温度和当前测量信号；其中，所述当前温度用于指示当前时刻晶圆的金属薄膜的温度；所述当前测量信号由电涡流传感器采集，且所述当前测量信号与所述金属薄膜的厚度相关；根据所述当前测量信号确定所述金属薄膜的测量厚度；根据所述当前温度和温度修正信息对所述测量厚度进行修正，获得所述金属薄膜的厚度；所述温度修正信息用于指示所述当前温度、所述测量厚度以及所述金属薄膜的厚度之间的关系。

今年以来华海清科新获得专利授权30个，较去年同期增加了130.77%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了1.71亿元，同比增23.19%。

数据来源：天眼查APP

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