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中石科技：目前公司尚未开发用于精密机械结构的主动温控材料

来源：证星互动追踪 2025-03-11 09:15:16

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证券之星消息，中石科技(300684)03月10日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。

投资者提问：光刻机工件台的纳米级运动精度对热变形极其敏感，公司是否开发过用于精密机械结构的主动温控材料（如动态导热补偿膜）？与海外竞品（如德国汉高）的技术差距体现在哪些参数（如导热速率波动率）？

中石科技回复：尊敬的投资者您好，目前公司尚未开发用于精密机械结构的主动温控材料，感谢您的关注！

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