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微导纳米获得实用新型专利授权：“载具的套管及载具、镀膜设备”

来源：证券之星企业动态 2025-03-11 03:14:25

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示微导纳米（688147）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“载具的套管及载具、镀膜设备”，专利申请号为CN202420392676.9，授权日为2025年3月11日。

专利摘要：本申请涉及一种载具的套管及载具、镀膜设备，其中，载具的套管包括绝缘筒体，绝缘筒体的外壁部沿周向设有槽结构，槽结构的轴向截面包括至少两条槽段，各槽段沿绝缘筒体的径向方向并列布置并依次首尾连通。通过槽结构的设置，能够有效降低在套管表面沿爬电路径形成连续多晶硅层的概率，进而减少相邻两个舟片之间发生短路的情况，提高该套管及舟片的使用寿命，提升基片的产品良率。

今年以来微导纳米新获得专利授权16个，与去年同期持平。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了1.21亿元，同比增88.99%。

数据来源：天眼查APP

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