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万润股份获得发明专利授权:“光刻胶底部抗反射涂层聚合物、制备方法及组合物和应用”

来源:证券之星企业动态 2025-01-29 02:16:44
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示万润股份(002643)新获得一项发明专利授权,专利名为“光刻胶底部抗反射涂层聚合物、制备方法及组合物和应用”,专利申请号为CN202411649151.X,授权日为2025年1月28日。

专利摘要:本发明涉及光刻胶底部抗反射涂层聚合物、制备方法及组合物和应用,属于光刻胶技术领域,所述聚合物的结构式为:;a、b、c分别是基于聚合物重复单元的质量分数,a选自15?55%,b选自20?70%,c选自10?40%;所述聚合物的重均分子量选自1000?10000Da,所述聚合物的分子量分散系数选自1.0?3.0。使用所述底部抗反射涂层聚合物配成的底部涂层具有高折光率n和消光系数k,可以有效阻止光反射后穿透抗反射涂层,减少驻波效应,显著提高光刻胶显影图案的分辨率。

今年以来万润股份新获得专利授权2个,较去年同期减少了60%。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了2.12亿元,同比增33.31%。

数据来源:天眼查APP

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