证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种晶圆承载组件及晶圆交互方法”，专利申请号为CN202111610846.3，授权日为2025年1月7日。
专利摘要：本发明公开了一种晶圆承载组件及晶圆交互方法，所述晶圆承载组件包括固定板；环状的托架，其同心设置于所述固定板的外周侧；复位组件，其包括气动座和支杆，所述气动座连接于所述固定板；所述支杆一端滑动连接于所述气动座，其另一端连接于所述托架；所述气动座的腔室充放气，支杆能够将托架顶升或下降，使得托架的竖直位置与晶圆交互位置相匹配。
今年以来华海清科新获得专利授权3个。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了1.71亿元，同比增23.19%。
数据来源：天眼查APP
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