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晶合集成获得实用新型专利授权:“一种掩膜版”

来源:证券之星企业动态 2025-01-01 02:31:22
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示晶合集成(688249)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种掩膜版”,专利申请号为CN202420394325.1,授权日为2024年12月17日。

专利摘要:本实用新型提供一种掩膜版及采用掩膜版制备的半导体器件,掩膜版包括主图形和四组自对准标记图形组,掩膜版具有第一区域和第二区域,第二区域环设在第一区域的外侧,第一区域设置有主图形,所有自对准标记图形组均设置在第二区域,且间隔设置在主图形的四周,每个自对准标记图形组均包括:第一自对准标记图形,第一自对准标记图形包括第一图形和第二图形,第二图形位于所述第一图形内侧;第二自对准标记图形,第一自对准标记图形和第二自对准标记图形间隔设置,第二自对准标记图形仅包括第一图形,可以更加准确地反馈套刻标记实际偏移量,能够确保第一层套刻对准标记稳定性,从而降低了重工率。

今年以来晶合集成新获得专利授权0个。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了6.14亿元,同比增22.27%。

数据来源:天眼查APP

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