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德龙激光获得发明专利授权:“晶圆激光切割用的产品吸附装置”

来源:证券之星企业动态 2024-12-07 02:17:53
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示德龙激光(688170)新获得一项发明专利授权,专利名为“晶圆激光切割用的产品吸附装置”,专利申请号为CN202010855379.X,授权日为2024年12月6日。

专利摘要:本发明涉及晶圆激光切割用的产品吸附装置,载台底座上开设有凹腔,照明光源安装于凹腔内,透明吸附载台置于载台底座上,透明吸附载台的外径上部设有台阶,透明吸附载台的外围配置有环形载台压块,上部具有与台阶相配的台肩,台肩压住台阶,通过螺丝将载台压块与载台底座连接,将透明吸附载台压住固定;透明吸附载台的外径与载台压块的内径之间间隙形成环形气腔,载台压块上开设与环形气腔连通的气道,载台压块与吸附载台的压合面上开设与环形气腔连通的导气槽,透明吸附载台的上表面分布有与环形气腔连通的吸附槽;载台压块的下端内孔设有环形槽,槽中嵌装密封圈,载台压块下端与透明吸附载台间密封;载台底座外沿设有吸附固定器。吸附均匀性好。

今年以来德龙激光新获得专利授权35个,较去年同期减少了27.08%。结合公司2024年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了6599.76万元,同比增39.19%。

数据来源:天眼查APP

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