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芯碁微装董秘回复：公司是基于DMD（数字微镜器件）的直写光刻技术，DMD芯片的精度决定了产品精度

来源：证星互动追踪 2024-12-05 16:43:34

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证券之星消息，芯碁微装(688630)12月05日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。

投资者：请问公司的光刻机设备，未来会达到14纳米的精度吗？

芯碁微装董秘：尊敬的投资者您好！公司是基于DMD（数字微镜器件）的直写光刻技术，DMD芯片的精度决定了产品精度，提升产品精度上首选方案是采用精度更高的DMD，目前市场能够量产的DMD最高精度在5.4μm，这种精度的产能已远超传统曝光机。如果要更精细的线宽，就要采用微透镜阵列（MLA）来升级，这种方式对于直写光刻技术升级和改造发展贡献会很大，量产后产能效率将大幅提升，产业应用范围将非常广阔，感谢关注！

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