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华海清科获得发明专利授权：“一种晶圆干燥装置”

来源：证券之星企业动态 2024-11-20 02:13:59

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种晶圆干燥装置”，专利申请号为CN202111676178.4，授权日为2024年11月19日。

专利摘要：本发明公开了一种晶圆干燥装置，其包括驱动机构，其竖直夹持晶圆并带动晶圆旋转；供给臂，其在晶圆的侧面摆动并经由其上的喷嘴将液体供应至晶圆表面；挡圈，其设置于驱动机构的外周侧；所述挡圈配置有导流结构，其沿挡圈的局部轮廓设置并位于挡圈的边沿，所述导流结构将晶圆甩出的液体引导至挡圈的下部。

今年以来华海清科新获得专利授权36个，较去年同期减少了60%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.71亿元，同比增23.19%。

数据来源：天眼查APP

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