证券之星消息,根据天眼查APP数据显示广立微(301095)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种基于晶圆制造的异常检测方法、装置和电子装置”,专利申请号为CN202410805475.1,授权日为2024年11月5日。
专利摘要:本申请涉及一种基于晶圆制造的异常检测方法、装置和电子装置,该异常检测方法包括:通过对训练数据进行预处理,进而根据预处理后的训练数据,以及双向限制对抗学习,训练得到目标深度学习模型。获取并预处理待检测时序数据,根据预先训练好的目标深度学习模型,确定待检测时序数据对应的重构误差;根据重构误差确定异常序列,并根据预设序列长度的滑动窗口对异常序列中的异常分值进行评估,确定目标晶圆设备异常数据,有利于捕捉和识别多种类型的异常情况,进而提高了对待检测时序数据中的异常数据的识别效率。
今年以来广立微新获得专利授权41个,较去年同期增加了70.83%。结合公司2024年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了1.32亿元,同比增41.77%。
数据来源:天眼查APP
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