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晶合集成获得实用新型专利授权:“除尘装置”

来源:证券之星企业动态 2024-09-04 02:31:37
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示晶合集成(688249)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“除尘装置”,专利申请号为CN202420023765.6,授权日为2024年9月3日。

专利摘要:本申请涉及一种除尘装置。除尘装置用于光罩组件,光罩组件包括光罩主体、设于光罩主体上的框架,以及设于框架背离光罩主体一端的光罩护膜,除尘装置包括承载座,承载座具有用于承载光罩主体的承载面,其中,承载座用于与承载面上的光罩主体围设出一容纳腔,容纳腔用于容纳框架和光罩护膜,承载座上设有与容纳腔相连通的吹气通道,吹气通道具有朝向框架的侧壁设置的第一吹气口。利用该除尘装置,可很好地对光罩主体的内壁、框架和光罩护膜等进行清洁处理,且能很好地保护光罩护膜,减小光罩护膜出现破损或翘曲的概率。

今年以来晶合集成新获得专利授权219个,较去年同期增加了67.18%。结合公司2024年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了6.14亿元,同比增22.27%。

数据来源:天眼查APP

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