证券之星消息,根据天眼查APP数据显示晶合集成(688249)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种晶圆搬运装置及晶圆传送系统”,专利申请号为CN202322845348.8,授权日为2024年8月27日。
专利摘要:本实用新型提供一种晶圆搬运装置及晶圆传送系统,包括:驱动结构;机械臂主体,设于所述驱动结构上;吸附结构,设于所述机械臂主体上,所述吸附结构包括气泵、吸附管道以及吸附区域,所述气泵通过所述吸附管道与所述吸附区域连通,所述吸附区域设于所述机械臂主体上,并与晶圆表面贴合;以及吸附压力计,所述吸附压力计设于所述吸附管道上。通过本实用新型公开的一种晶圆搬运装置及晶圆传送系统,能够便于对晶圆进行固定。
今年以来晶合集成新获得专利授权213个,较去年同期增加了67.72%。结合公司2024年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了6.14亿元,同比增22.27%。
数据来源:天眼查APP
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