证券之星消息,根据天眼查APP数据显示晶合集成(688249)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种半导体结构及其制造方法”,专利申请号为CN202410726730.3,授权日为2024年8月16日。
专利摘要:本发明提供了一种半导体结构及其制造方法,其中半导体结构包括:承载基板;工作基板,设置在承载基板上;第一键合层,连接在工作基板和承载基板之间;第二键合层,覆盖在工作基板的侧壁上;隔离沟槽,穿过工作基板与第一键合层连接,且隔离沟槽将工作基板划分为预留部和待除部,其中待除部位于预留部的外侧,且待除部包围预留部;氮化层,连接第二键合层,且氮化层覆盖待除部;以及保护层,填充在隔离沟槽中,保护层连接于预留部和待除部,且保护层覆盖氮化层,保护层覆盖工作基板的表面。本发明提供了一种半导体结构及其制造方法,以提升制程良率。
今年以来晶合集成新获得专利授权210个,较去年同期增加了69.35%。结合公司2024年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了6.14亿元,同比增22.27%。
数据来源:天眼查APP
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