睿创微纳获得发明专利授权：“一种MEMS传感器及其制备方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示睿创微纳（688002）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种MEMS传感器及其制备方法”，专利申请号为CN201911167892.3，授权日为2024年8月13日。

专利摘要：本发明公开了一种MEMS传感器，在封盖晶圆朝向传感器晶圆一侧表面设置有吸气剂；吸气剂位于封盖晶圆与传感器晶圆之间的空腔内，封盖晶圆设置有对应空腔的电极通孔，电极通孔内设置有激活电极，激活电极与吸气剂相接触，封盖晶圆对应任一所述空腔设置有至少两个电极通孔。在MEMS传感器外侧可以通过位于电极通孔内的激活电极向吸气剂供电，在电流流过吸气剂时会将电能转换为热能从而激活吸气剂，从而避免激活吸气剂时对传感器结构造成的影响。通过设置激活电极，可以多次激活吸气剂，以保证MEMS传感器内的真空度。本发明还提供了一种MEMS传感器的制备方法，同样具有上述有益效果。

今年以来睿创微纳新获得专利授权13个，较去年同期增加了333.33%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了6.83亿元，同比增27.39%。

数据来源：天眼查APP

以上内容由证券之星根据公开信息整理，由算法生成（网信算备310104345710301240019号），与本站立场无关，如数据存在问题请联系我们。本文为数据整理，不对您构成任何投资建议，投资有风险，请谨慎决策。