证券之星消息,根据天眼查APP数据显示晶合集成(688249)新获得一项发明专利授权,专利名为“半导体结构及其制备方法和电子设备”,专利申请号为CN202410635943.5,授权日为2024年8月9日。
专利摘要:本申请公开了一种半导体结构及其制备方法和电子设备。该方法包括:提供基底;于基底上形成初始栅介质材料层;于初始栅介质材料层的表面形成栅导电材料层;对栅导电材料层的上表层进行图形化处理,刻蚀形成位于剩余导电材料层表面的预设栅导电层;于预设栅导电层的侧壁形成阻挡层;对剩余栅导电材料层进行氧化处理,得到栅导电层和栅介质材料层;其中,栅介质材料层包括初始栅介质材料层,位于栅导电层和基底的之间的栅介质材料层作为栅介质层,栅介质层包括水平部和凸起部,水平部包括中心区和位于所述中心区外侧的边缘区,凸起部位于边缘区的表面,且向水平部远离所述基底的一侧延伸。可以调控半导体结构的阈值电压。
今年以来晶合集成新获得专利授权196个,较去年同期增加了59.35%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了10.58亿元,同比增23.39%。
数据来源:天眼查APP
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