证券之星消息,根据企查查数据显示奥特维(688516)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种检测机构及检测装置”,专利申请号为CN201910720030.2,授权日为2024年8月2日。
专利摘要:本发明提供了一种检测机构,用于检测处于检测工位的待测硅片的被测边缘,被测边缘包括两个相对的第一表面、第二表面及连接第一表面和第二表面的端面。检测机构包括表面光源、端面光源、表面反射机构、端面反射机构及检测相机,其中:表面光源被配置为向被测边缘的至少一个表面发射表面照射光线,表面反射机构被配置将至少一个表面反射的表面照射光线反射至检测相机;端面反射机构被配置为将端面光源发射的端面照射光线反射至被测边缘的端面,端面照射光线经被测边缘的端面反射至检测相机。本发明能够实现对待测硅片的被测边缘的端面及至少一个表面的检测,从而提升了检测效率,降低了检测成本。
今年以来奥特维新获得专利授权163个,较去年同期增加了91.76%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了3.27亿元,同比增38.3%。
数据来源:企查查
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