证券之星消息,根据企查查数据显示晶合集成(688249)新获得一项发明专利授权,专利名为“机台监测方法”,专利申请号为CN202410496185.3,授权日为2024年7月19日。
专利摘要:本申请涉及一种机台监测方法,该机台监测方法包括:提供机台组,机台组包括同种机型的多个机台;提供与机台一一对应的多个测试晶圆,测试晶圆包括第一衬底;采用多个机台于对应的第一衬底上形成多个离子植入层;对各离子植入层进行预设工艺时间的去除工艺,并获取各离子植入层剩余的多个第一厚度;根据多个第一厚度判断机台组中的多个机台是否匹配。该机台监测方法可以判断机台组中的多个机台是否匹配,确保工艺制程的稳定。
今年以来晶合集成新获得专利授权191个,较去年同期增加了60.5%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了10.58亿元,同比增23.39%。
数据来源:企查查
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