证券之星消息,根据企查查数据显示晶合集成(688249)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种半导体结构及其制造方法”,专利申请号为CN202410472202.X,授权日为2024年7月23日。
专利摘要:本发明涉及半导体制造技术领域,并公开了一种半导体结构及其制造方法,其中半导体结构的制造方法包括以下步骤:提供一衬底,并形成栅极结构于衬底上;形成栅极侧墙于栅极结构的侧部,且形成沉积窗口于相邻的栅极侧墙之间;形成有机介质层于衬底上、栅极侧墙上和栅极结构上;去除有机介质层和部分栅极侧墙,并拓宽沉积窗口;以及形成层间介电层于衬底上、栅极结构上和栅极侧墙上。本发明提供了一种半导体结构及其制造方法,能够提升半导体制程良率。
今年以来晶合集成新获得专利授权191个,较去年同期增加了60.5%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了10.58亿元,同比增23.39%。
数据来源:企查查
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