中微公司获得实用新型专利授权：“一种化学气相沉积设备”

证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种化学气相沉积设备”，专利申请号为CN202322748751.9，授权日为2024年7月9日。

专利摘要：本实用新型公开了一种化学气相沉积设备，包括：反应腔，其底部设置有基座组件，用于承载晶圆；进气组件，用于输送吹扫气体和反应气体至反应腔内；上隔热组件，其沿反应腔上部的内壁设置；下隔热组件，其设置在上隔热组件下方，环绕基座组件设置；上隔热组件和下隔热组件分别与反应腔的腔壁间隔设置形成吹扫通道；下隔热组件包括：基板；限流环，其设置在基板上；下隔热环，其间隔环绕限流环外壁设置基板上，与限流环形成第一间隔；基板上设置有若干个通气部，所通气部与第一间隔连通形成导气通道，使吹扫气体能够沿吹扫通道和导气通道流动。本实用新型消除了气体流场死区，减小甚至消除横向气流对工艺结果的影响，增强了设备的隔热效果。

今年以来中微公司新获得专利授权84个，较去年同期增加了13.51%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了8.17亿元，同比增34.91%。

数据来源：企查查

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