海目星获得实用新型专利授权：“激光设备”

证券之星消息，根据企查查数据显示海目星（688559）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“激光设备”，专利申请号为CN202322569329.7，授权日为2024年6月11日。

专利摘要：本实用新型公开一种激光设备，应用于晶圆上的芯片剥离，该激光设备包括激光头、支架、第一驱动装置以及掩模版；其中，晶圆能够连接于支架，掩模版位于支架与激光头之间，且掩模版在激光头的激光发射方向上贯穿设置有具有预设掩模图案的掩模孔；掩模版与第一驱动装置连接，以在第一驱动装置的驱动下沿激光头的激光发射方向运动，并使得掩模版具有初始位置以及工作位置；掩模版位于初始位置时，掩模版与晶圆间隔设置；掩模版位于工作位置时，掩模版与晶圆接触，激光头产生的激光经由掩模版图案化后照射剥离对应的芯片。如此，该激光头搭配使用掩模版即可得到对应图案的激光，从而避免使用昂贵的投影物镜或266nm固态激光器，进而降低激光设备的成本。

今年以来海目星新获得专利授权158个，较去年同期增加了28.46%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了5.4亿元，同比增30.96%。

数据来源：企查查

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