晶合集成获得实用新型专利授权：“一种光罩”

证券之星消息，根据企查查数据显示晶合集成（688249）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种光罩”，专利申请号为CN202322885513.2，授权日为2024年6月14日。

专利摘要：本实用新型提供了一种光罩，应用于半导体光刻技术领域，包括位于主图形和校准图形，其中校准图形包括呈上下或左右相邻排布的第一“回”字形图形和第二“回”字形图形，且第一“回”字形图形包括位于中间的铬图形层区域或堆叠的硅化钼图形层区域和铬图形层区域，以及位于四周的石英图形层区域，第二“回”字形图形包括位于中间的石英图形层区域和位于四周的铬图形层区域或硅化钼图形层区域，从而让至少两层不同材料层上的图形层区域的图案分别与光罩的每个材料层的材质各自相同，进而在对该形成有特殊结构的校准图形的光罩进行光源校验时，只需对所述校准图形进行对准校验，即可确定出光罩上的三种结构图形下的透光相关系数是否设置合理。

今年以来晶合集成新获得专利授权162个，较去年同期增加了97.56%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了10.58亿元，同比增23.39%。

数据来源：企查查

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