证券之星消息,根据企查查数据显示晶合集成(688249)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种晶圆盒装载台”,专利申请号为CN202323039919.5,授权日为2024年6月14日。
专利摘要:本实用新型提供了一种晶圆盒装载台,包括装载台面、多个定位针、驱动单元、多个位置传感器和信息处理器;所述装载台面上设置有多个供所述定位针上升或下降的通孔,每个所述定位针对应一个所述通孔;多个所述定位针分别与所述驱动单元连接,所述驱动单元驱动所述定位针上升至最高位置时,所述定位针的上表面高于所述装载台面的上表面;所述驱动单元驱动所述定位针下降至最低位置时,所述定位针的上表面低于所述装载台面的上表面或者与所述装载台面的上表面齐平;多个所述位置传感器和所述驱动单元分别与所述信息处理器通信连接。晶圆盒装载台可以提前预制,不再需要设备工程师改造晶圆盒装载台,减少了设备工程师的工作量。
今年以来晶合集成新获得专利授权162个,较去年同期增加了97.56%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了10.58亿元,同比增23.39%。
数据来源:企查查
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