晶合集成获得发明专利授权：“光刻图形量测检测方法及其系统”_股票频道

证券之星消息，根据企查查数据显示晶合集成（688249）新获得一项发明专利授权，专利名为“光刻图形量测检测方法及其系统”，专利申请号为CN202410130842.2，授权日为2024年6月11日。

专利摘要：本公开涉及一种光刻图形量测检测方法及其系统。光刻图形量测检测方法包括：获取光刻图形的量测图片；获取光刻图形对应母版的标准图片；将量测图片与标准图片进行比对，获取量测图片的辅助检测结果；辅助检测结果包括：图形是否异常、工艺是否异常及量测是否异常中的至少一种异常判定结果。上述光刻图形量测检测方法可以对光刻量测图片进行进一步的异常判定，有效提升了光刻图形缺陷的处理效率和产品良率，从而进一步提高半导体器件的性能。

今年以来晶合集成新获得专利授权160个，较去年同期增加了95.12%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了10.58亿元，同比增23.39%。

数据来源：企查查

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