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晶合集成获得发明专利授权:“一种OPC修正方法及OPC修正系统”

来源:证券之星企业动态 2024-06-08 02:18:13
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证券之星消息,根据企查查数据显示晶合集成(688249)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种OPC修正方法及OPC修正系统”,专利申请号为CN202410259333.X,授权日为2024年6月7日。

专利摘要:本发明提供了一种OPC修正方法及OPC修正系统。具体的,在确定出包含金属层版图或通孔层版图的原始版图的版图数据之后,基于该版图数据中所包含的具有边角的线条端点图形的线边边长,将所述线条端点图形的多条线边按照不同的长度划分成两个线边集合,然后针对所述两个线边集合分别采用不同的切分点分割间距进行线边的切分点设置,由于其在为金属层版图和/或通孔层版图上的线条端点图形的边角所对应的线边进行切分点设置时,可以针对不同的线边边长设置不同的切分点分割间距,即保证了所述边角所对应的线边上至少可以设置一切分点且至少执行一次OPC修正,从而降低了线条端点图形上的多处凸角区域发生转角圆化效应的概率,提高了OPC的修正精度。

今年以来晶合集成新获得专利授权151个,较去年同期增加了93.59%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了10.58亿元,同比增23.39%。

数据来源:企查查

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