证券之星消息,根据企查查数据显示晶合集成(688249)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种图像传感器的制作方法”,专利申请号为CN202410129350.1,授权日为2024年6月4日。
专利摘要:本发明提出了一种图像传感器的制作方法,属于半导体制造技术领域,包括以下步骤:提供一衬底,包括器件区和非器件区;在衬底上形成第一氧化层,第一氧化层覆盖器件区并延伸至部分非器件区上;在非器件区的衬底上形成台阶;在衬底上形成第二氧化材料层,第二氧化材料层覆盖第一氧化层、台阶的表面和侧壁;在第二氧化材料层表面形成牺牲层;对牺牲层进行至少两次平坦化处理,以去除牺牲层和部分厚度的第二氧化材料层,再进行抛光处理,形成第二氧化层;在第二氧化层上形成高键合强度的键合接触层;将键合接触层与承载基板进行键合,形成图像传感器。本发明提供的一种图像传感器的制作方法,能有效改善图像传感器的质量和良率。
今年以来晶合集成新获得专利授权143个,较去年同期增加了95.89%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了10.58亿元,同比增23.39%。
数据来源:企查查
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