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晶合集成获得发明专利授权:“一种半导体结构及其制备方法”

来源:证券之星企业动态 2024-06-05 02:26:57
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证券之星消息,根据企查查数据显示晶合集成(688249)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种半导体结构及其制备方法”,专利申请号为CN202410257075.1,授权日为2024年6月4日。

专利摘要:本发明提出一种半导体结构及其制备方法,半导体结构的制备方法包括提供一半导体基底;在半导体基底的部分表面上形成金属层,金属层具有一凸起;在金属层和半导体基底的表面上共形沉积介质层,以在介质层上同步凸起形成一台阶结构;在台阶结构位置处形成研磨阻挡块;对介质层进行第一平坦化处理,以减薄研磨阻挡块两侧的介质层;湿法清洗去除研磨阻挡块;对介质层进行第二平坦化处理。在金属层有台阶结构的情况下,本发明可保证介质层的高度满足制程工艺,并提高介质层的产品良率。

今年以来晶合集成新获得专利授权143个,较去年同期增加了95.89%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了10.58亿元,同比增23.39%。

数据来源:企查查

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