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高测股份获得发明专利授权:“一种晶棒开方上料夹持装置”

来源:证券之星企业动态 2024-06-01 02:41:11
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证券之星消息,根据企查查数据显示高测股份(688556)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种晶棒开方上料夹持装置”,专利申请号为CN201910594157.4,授权日为2024年5月31日。

专利摘要:本发明涉及一种晶棒开方上料夹持装置,属于晶硅加工技术领域,包括底座,所述底座上设有工作台和对中组件,所述工作台上设有支撑座、上料压紧组件以及驱动组件,支撑座用于支撑晶棒,上料压紧组件用于压紧位于支撑座上的晶棒的顶部,对中组件用于夹持位于支撑座上的晶棒的侧面,实现对中操作,驱动组件带动支撑座、上料压紧组件沿着底座上的导轨滑动,实现上料,本发明借助上料压紧组件可适应圆形、方形和菱形不同形状的晶棒夹持,省去了上下晶棒时的大量辅助时间,采用上下压紧的方式夹持住晶棒,夹持稳定,同时,借助对中组件提高对中精度,使晶棒长度方向平行于导轨方向,确保开方垂直度,借助驱动组件提高工作台横向移动精度。

今年以来高测股份新获得专利授权147个,较去年同期增加了93.42%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了3.89亿元,同比增72.61%。

数据来源:企查查

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