证券之星消息,根据企查查数据显示晶合集成(688249)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种图像传感器及其制作方法”,专利申请号为CN202410199372.5,授权日为2024年5月17日。
专利摘要:本发明公开了一种图像传感器及其制作方法,属于半导体制造领域。针对现有技术中存在的背照式图像传感器暗电流高、有串扰效应的问题,本发明提供了一种图像传感器及其制作方法,包括衬底;隔离层,设置在衬底一侧;浅沟槽隔离结构,由衬底另一侧表面向内延伸并与隔离层接触;深沟槽隔离结构,位于隔离层背离浅沟槽隔离结构一侧;格栅结构,设置在所述深沟槽隔离结构上;以及多层光电感应区,设置在深沟槽隔离结构之间的区域内,还包括在格栅结构之间的滤光结构。通过先去除部分衬底区域;在去除区域形成多层光电感应区;后在形成深沟槽隔离结构以及格栅结构,并最终设置滤光结构;它具有减少串扰效应、降低暗电流以及提高图像质量的效果。
今年以来晶合集成新获得专利授权126个,较去年同期增加了137.74%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了10.58亿元,同比增23.39%。
数据来源:企查查
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