证券之星消息,根据企查查数据显示晶合集成(688249)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种LDMOS结构以及制备方法”,专利申请号为CN202410211055.0,授权日为2024年5月17日。
专利摘要:本发明提供一种LDMOS结构以及制备方法,LDMOS结构包括位于衬底中且间隔设置的漂移区和体区,位于漂移区中的漏极、位于体区中的源极,还包括凹槽、氧化层、栅氧层和多晶硅层,氧化层位于漂移区上方,凹槽位于体区,凹槽和氧化层相邻设置,凹槽的部分延伸至漂移区和体区之间的间隙中,漏极和源极分别位于凹槽和氧化层的外侧,栅氧层覆盖凹槽的底壁和侧壁,多晶硅层覆盖栅氧层并填充凹槽,同时还覆盖氧化层靠近栅氧层一侧的部分表面,凹槽能够合理的分散多晶硅栅极两侧的电场,使得反型沟道合理的沿多晶硅栅极分布;多晶硅层覆盖栅氧层并填充凹槽,同时还覆盖氧化层靠近栅氧层一侧的部分表面,可以提高击穿电压,并缩短LDMOS结构的尺寸。
今年以来晶合集成新获得专利授权126个,较去年同期增加了137.74%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了10.58亿元,同比增23.39%。
数据来源:企查查
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