证券之星消息,根据企查查数据显示华海清科(688120)新获得一项发明专利授权,专利名为“晶圆传输机构”,专利申请号为CN201811221029.7,授权日为2024年5月17日。
专利摘要:本发明公开了一种晶圆传输机构,晶圆传输机构包括:支架;至少一个晶圆传输装置,其在支架的垂直方向间隔设置;所述晶圆传输装置包括晶圆托架及平移滑轨,平移滑轨设置在支架上,晶圆托架可移动的设置在平移滑轨上,所述晶圆托架在垂直方向上间隔设置。根据本发明的晶圆传输机构,结构简单,传输效率高,稳定性好。
今年以来华海清科新获得专利授权15个,较去年同期减少了74.14%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了3.04亿元,同比增40.33%。
数据来源:企查查
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