证券之星消息,根据企查查数据显示敏芯股份(688286)新获得一项发明专利授权,专利名为“传感器结构及其制备方法、电子设备”,专利申请号为CN202111014713.X,授权日为2024年5月14日。
专利摘要:本申请提供了一种传感器结构及其制备方法、电子设备,该传感器结构包括:硅基底;设置在硅基底一侧的膜层结构,其中,硅基底远离膜层结构的一侧设置有空腔;封装基板,封装基板设置在硅基底远离膜层结构的一侧;连接层,设置在硅基底与封装基板之间,连接层中形成有第一空隙,第一空隙用于连通空腔与传感器结构之外的环境。本申请实施例提供的传感器结构能够简化工艺、提高生产效率以及降低成本。
今年以来敏芯股份新获得专利授权36个,较去年同期增加了9.09%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了7790.71万元,同比增11.7%。
数据来源:企查查
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