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江丰电子获得发明专利授权:“一种化学机械抛光垫及其制备方法”

来源:证券之星企业动态 2024-04-20 02:45:25
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证券之星消息,根据企查查数据显示江丰电子(300666)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种化学机械抛光垫及其制备方法”,专利申请号为CN202110461979.2,授权日为2024年4月19日。

专利摘要:本发明涉及一种化学机械抛光垫及其制备方法。本发明的化学机械抛光垫使用聚氨酯树脂浆料,涂抹在涂有脱模剂的成膜基材上,通过两段凝结的方式,分两步在凝结膜两侧分别凝结不同的孔洞结构。在凝结成孔的过程中,控制两段凝结液的浓度、温度,使两种不同孔洞结构的孔洞同时形成在同一张凝结膜上,且从表面层向内占凝结膜总厚度至少15%的指形孔直径不超过25μm,在第二层侧形成的指形孔孔径均匀性高,孔径小,可磨损的厚度大,抛光垫寿命延长;在第一层侧有海绵形孔并且海绵形孔的厚度占总凝结膜厚度的三分之一或以上,对待抛光物追随性好,提供柔性支撑,使得待抛光物表面平坦化程度得到提高。

今年以来江丰电子新获得专利授权29个,较去年同期减少了40.82%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了7788.86万元,同比增27.92%。

数据来源:企查查

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