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晶合集成获得实用新型专利授权:“晶圆取送装置”

来源:证券之星企业动态 2024-04-17 02:36:55
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证券之星消息,根据企查查数据显示晶合集成(688249)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“晶圆取送装置”,专利申请号为CN202322439529.0,授权日为2024年4月16日。

专利摘要:本实用新型提供了一种晶圆取送装置,包括:用于承载晶圆的手臂、晶圆推送模块和晶圆校正模块,手臂包括本体和自本体向外延伸的两个延伸臂,晶圆推送模块设置于本体上且与本体活动连接以推送晶圆;晶圆校正模块包括激光发射器和光栅感应器,激光发射器设置于晶圆推送模块上,光栅感应器设置于两个延伸臂的延伸末端上,且激光发射器的发射口与光栅感应器的感应面相对,以使激光发射器发射的激光照射至感应面。本实用新型中能够准确获得晶圆推送模块的推送角度,提高推送角度的判断效率。

今年以来晶合集成新获得专利授权99个,较去年同期增加了125%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了10.58亿元,同比增23.39%。

数据来源:企查查

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