晶盛机电获得发明专利授权：“一种用于单晶硅棒的对中检测机构及检测方法”

证券之星消息，根据企查查数据显示晶盛机电（300316）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种用于单晶硅棒的对中检测机构及检测方法”，专利申请号为CN201810048097.1，授权日为2024年4月16日。

专利摘要：本发明涉及半导体加工技术，旨在提供一种用于单晶硅棒的对中检测机构。包括固定在底座上的竖向安装支架，设有竖向且平行的主刻度尺和导轨；导轨上活动安装两个滑座，均固定装有横杆导向块，检测横杆嵌入于横杆导向块的滑槽内且能沿水平方向位移；两个滑座之间的导轨上活动安装了副尺安装座，固定装有副刻度尺且与主刻度尺相邻；竖向左右旋梯形丝杆的一端设驱动机构，梯形丝杆穿过两个滑座和副尺安装座，两个滑座分别位于梯形丝杆的两段反向螺纹的范围内，副尺安装座位于梯形丝杆中间的无螺纹区域。本发明检测结果准确，可靠；调整硅棒时可以及时检测，拆卸方便，提高了生产效率；结构简单，操作简便，成本较低，可以节省大量的生产成本。

今年以来晶盛机电新获得专利授权59个，较去年同期增加了34.09%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了11.45亿元，同比增43.83%。

数据来源：企查查

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