证券之星消息,根据企查查数据显示晶合集成(688249)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种半导体结构及其制造方法”,专利申请号为CN202311744273.2,授权日为2024年4月12日。
专利摘要:本发明公开了一种半导体结构及其制造方法,属于半导体技术领域,所述半导体结构包括:衬底,包括第一区域和第二区域;多个浅沟槽隔离结构,设置在所述第一区域和所述第二区域之间;第一浅沟槽隔离凹陷区,设置在所述第一区域两侧的所述浅沟槽隔离结构内;以及第二浅沟槽隔离凹陷区,设置在所述第二区域两侧的所述浅沟槽隔离结构内,且所述第二浅沟槽隔离凹陷区的深度和/或宽度小于或等于所述第一浅沟槽隔离凹陷区的深度和/或宽度。通过本发明提供的一种半导体结构及其制造方法,能够调节不同半导体器件沟道宽度效应。
今年以来晶合集成新获得专利授权92个,较去年同期增加了119.05%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了5.02亿元,同比增27.46%。
数据来源:企查查
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