晶合集成获得实用新型专利授权：“静电吸盘、物理气相沉积腔室及物理气相沉积设备”

证券之星消息，根据企查查数据显示晶合集成（688249）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“静电吸盘、物理气相沉积腔室及物理气相沉积设备”，专利申请号为CN202322439550.0，授权日为2024年4月12日。

专利摘要：本实用新型提供了一种静电吸盘、物理气相沉积腔室及物理气相沉积设备中，静电吸盘包括基座、吸盘主体、若干电磁铁和控制单元，其中吸盘主体与基座连接，吸盘主体具有吸附面；若干电磁铁均具有磁吸面，吸盘主体包覆所有电磁铁，且所有电磁铁的磁吸面均与吸附面的朝向相同；控制单元与每个电磁铁电连接以实现独立控制每个电磁铁。本实用新型能够改善沉积形成的膜层厚度不均的问题，或是实现沉积形成需求图形。

今年以来晶合集成新获得专利授权89个，较去年同期增加了117.07%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了5.02亿元，同比增27.46%。

数据来源：企查查

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