证券之星消息,根据企查查数据显示格力电器(000651)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种碳化硅功率二极管的制备方法及其应用”,专利申请号为CN202010864533.X,授权日为2024年4月5日。
专利摘要:涉及碳化硅二极管的制备技术领域,本申请公开一种碳化硅功率二极管的制备方法及其应用。制备方法包括步骤:在衬底上形成碳化硅外延层;在碳化硅外延层上形成第一掩膜层,在第一掩膜层上刻蚀形成多个第一窗口以及多个第二窗口,第一窗口位于有源区,第二窗口位于终端区,第二窗口宽度大于第一窗口宽度;第一离子注入,对应第一窗口以及第二窗口处分别形成第一P+区以及第二P+区;第一掩膜层受热变形后形成第二掩膜层,第二掩膜层能够封闭多个第一窗口。与现有技术相比,本申请中第一掩膜层受热形变后形成第二掩膜层,在形成第二掩膜层的同时封闭第一窗口而第二窗口未完全封闭,进而减少刻蚀或掩膜的沉积等工艺步骤,工艺简单、节约制造成本。
今年以来格力电器新获得专利授权1490个,较去年同期增加了34.11%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了35.44亿元,同比增15.99%。
数据来源:企查查
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