华海清科获得发明专利授权：“一种晶圆水平清洗装置及清洗方法”

证券之星消息，根据企查查数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种晶圆水平清洗装置及清洗方法”，专利申请号为CN202110957890.5，授权日为2024年4月5日。

专利摘要：本发明公开了一种晶圆水平清洗装置及清洗方法，所述晶圆水平清洗装置包括：箱体；晶圆支撑部，其设置于箱体中以水平支撑待清洗的晶圆；清洗辊，其平行、间隔设置并绕其轴线滚动以刷洗晶圆的正反两面；所述晶圆支撑部包括支撑板和限位组件，所述限位组件设置于支撑板的上侧；所述限位组件包括转动座、垫圈和锁紧帽，所述转动座的顶部配置有同心的凹槽，所述垫圈卡接于所述凹槽中并由所述锁紧帽抵接；所述垫圈的外周侧配置有卡接晶圆外缘的卡槽，所述垫圈的外周侧与所述凹槽的外侧壁之间形成第一间隙，所述转动座斜向设置有连通所述第一间隙与外部的引流通道；晶圆清洗的流体将所述卡槽中的颗粒污染物经由所述第一间隙及引流通道排出。

今年以来华海清科新获得专利授权13个，较去年同期减少了51.85%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了1.39亿元，同比增63.98%。

数据来源：企查查

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