证券之星消息，根据企查查数据显示卓胜微（300782）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种防止光刻胶层发生脱落的方法及半导体结构”，专利申请号为CN202211741683.7，授权日为2024年4月2日。
专利摘要：本发明公开一种防止光刻胶层发生脱落的方法及半导体结构，防止光刻胶层发生脱落的方法通过提供衬底，在衬底表面形成栅极氧化层，对栅极氧化层的上表面进行掺氮处理，并经过固化处理，以形成粘附层，粘附层具有较强的粘附性，在粘附层的表面涂覆光刻胶，从而实现将光刻胶粘附固定于栅极氧化层，避免湿法刻蚀过程中易导致光刻胶的剥离，导致最终刻蚀的图案与设定不符，同时会摧毁其它图案的问题。
今年以来卓胜微新获得专利授权7个。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了2.54亿元，同比增50.79%。
数据来源：企查查
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