证券之星消息,根据企查查数据显示卓胜微(300782)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种防止光刻胶层发生脱落的方法及半导体结构”,专利申请号为CN202211741683.7,授权日为2024年4月2日。
专利摘要:本发明公开一种防止光刻胶层发生脱落的方法及半导体结构,防止光刻胶层发生脱落的方法通过提供衬底,在衬底表面形成栅极氧化层,对栅极氧化层的上表面进行掺氮处理,并经过固化处理,以形成粘附层,粘附层具有较强的粘附性,在粘附层的表面涂覆光刻胶,从而实现将光刻胶粘附固定于栅极氧化层,避免湿法刻蚀过程中易导致光刻胶的剥离,导致最终刻蚀的图案与设定不符,同时会摧毁其它图案的问题。
今年以来卓胜微新获得专利授权7个。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了2.54亿元,同比增50.79%。
数据来源:企查查
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