中微公司获得发明专利授权：“一种气体流量调节装置和调节方法及等离子体处理装置”

证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种气体流量调节装置和调节方法及等离子体处理装置”，专利申请号为CN202010858525.4，授权日为2024年3月12日。

专利摘要：一种气体流量调节装置和调节方法及等离子体处理装置，气体流量调节装置包含气体挡板和设置在气体挡板上的多个可升降隔离组件，隔离组件对底板与安装基板之间形成的圆形气体分配区域和环形气体分配区域的面积进行动态调节，从而使圆形气体分配区域和/或环形气体分配区域对应的区域的等离子体处理速率与其他区域达到一致。本发明可以适用于不同的化学气体环境和不同的气体比例，令不同的气体分配区域面积对应不同的化学气体环境和不同的气体比例，大大提高了对等离子体处理速率进行调节的灵活性、灵敏度和准确性，提高了等离子体处理速率的均匀性，且操作简单，提高了设备的适用度，缩短了工艺调试周期。

今年以来中微公司新获得专利授权34个，较去年同期增加了21.43%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了2.92亿元，同比减3.77%。

数据来源：企查查

以上内容由证券之星根据公开信息整理，由算法生成，与本站立场无关。证券之星力求但不保证该信息（包括但不限于文字、视频、音频、数据及图表）全部或者部分内容的的准确性、完整性、有效性、及时性等，如存在问题请联系我们。本文为数据整理，不对您构成任何投资建议，投资有风险，请谨慎决策。