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晶盛机电获得发明专利授权:“一种单晶炉可提升水冷热屏装置”

来源:证券之星企业动态 2024-03-06 02:31:28
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证券之星消息,根据企查查数据显示晶盛机电(300316)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种单晶炉可提升水冷热屏装置”,专利申请号为CN201710859271.6,授权日为2024年3月5日。

专利摘要:本发明涉及单晶硅生产设备领域,旨在提供一种单晶炉可提升水冷热屏装置。该种单晶炉可提升水冷热屏装置包括热屏提升装置、水冷热屏、热屏上环、热屏下环、热屏外环、热场上保温盖、快卸螺母、浸液保护装置,用于设置在单晶炉炉体内石英坩埚的上方。本发明采用水冷热屏替换原单晶炉中的热屏内环,水冷热屏底部能与液面之间形成比较小的距离空间,在距离液面较近的区域带走热量;且其余水冷热屏和原先石墨热屏内环尺寸一致,不会对其气流等产生影。

今年以来晶盛机电新获得专利授权39个,较去年同期增加了85.71%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了6亿元,同比增118.68%。

数据来源:企查查

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