晶合集成获得发明专利授权：“一种获取静电吸盘图案的方法及晶圆中心的校正方法”

证券之星消息，根据企查查数据显示晶合集成（688249）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种获取静电吸盘图案的方法及晶圆中心的校正方法”，专利申请号为CN202011114402.6，授权日为2024年3月1日。

专利摘要：本发明公开了一种获取静电吸盘图案的方法及晶圆中心的校正方法，其中，所述获取静电吸盘图案的方法，至少包括以下步骤：提供一静电吸盘，所述静电吸盘位于一腔体内，所述静电吸盘上具有图案；向所述腔体内通入等离子气体，以在所述静电吸盘上形成薄膜；通过晶圆粘结所述薄膜，以获取所述图案，所述薄膜上转印有所述图案。本发明能将所述静电吸盘上图案转印出来，进而能精准校正晶圆的中心。

今年以来晶合集成新获得专利授权55个，较去年同期增加了111.54%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了5.02亿元，同比增27.46%。

数据来源：企查查

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