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晶合集成获得发明专利授权:“一种半导体结构及其制造方法”

来源:证券之星企业动态 2024-03-02 02:47:22
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证券之星消息,根据企查查数据显示晶合集成(688249)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种半导体结构及其制造方法”,专利申请号为CN202311421841.5,授权日为2024年3月1日。

专利摘要:本发明公开了一种半导体结构及其制造方法,所述半导体结构至少包括:衬底,衬底包括逻辑区和像素区;堆叠掩膜层,设置在衬底上,堆叠掩膜层覆盖逻辑区和像素区;台阶结构,设置在堆叠掩膜层上,且台阶结构位于逻辑区和像素区的分界处;第一类型沟槽,穿过堆叠掩膜层并延伸至衬底中,其中第一类型沟槽位于像素区;第二类型沟槽,穿过堆叠掩膜层并延伸至衬底中,其中第二类型沟槽位于逻辑区,且第二类型沟槽的深度大于第一类型沟槽的深度;以及光阻层,填充在第一类型沟槽中,且光阻层覆盖像素区。本发明提供了一种半导体结构及其制造方法,以提升在半导体上形成逻辑区和像素区的制造良率。

今年以来晶合集成新获得专利授权55个,较去年同期增加了111.54%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了5.02亿元,同比增27.46%。

数据来源:企查查

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