微导纳米获得发明专利授权：“一种舟脚、载具和沉积设备”

证券之星消息，根据企查查数据显示微导纳米（688147）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种舟脚、载具和沉积设备”，专利申请号为CN202211015818.1，授权日为2024年2月13日。

专利摘要：本发明提供一种舟脚、载具和沉积设备，载具包括：交替间隔排布的若干第一导电舟片和若干第二导电舟片；第一导电舟片包括第一连接凸件；第二导电舟片包括第二连接凸件；部分第一导电舟片和第二导电舟片构成第一舟片组，第一舟片组中的第一导电舟片还包括位于前侧的第一补充连接凸件；第一舟脚导电块，第一舟脚导电块中具有第一隔离槽；第一隔离槽中具有第一主绝缘件；第一舟片组中第二连接凸件通过第一主绝缘件与第一舟脚导电块电隔离；第一舟片组中的第一补充连接凸件与第一舟脚导电块电连接；第一舟片组之外的第二连接凸件电连接；相邻的第一连接凸件电连接且与第二导电舟片电隔离。所述载具的位置稳定性和镀膜工艺参数稳定性提高。

今年以来微导纳米新获得专利授权13个，较去年同期增加了550%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了6390.04万元，同比增3.34%。

数据来源：企查查

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