微导纳米获得发明专利授权：“一种喷淋装置、处理设备及处理设备的喷淋工艺”

证券之星消息，根据企查查数据显示微导纳米（688147）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种喷淋装置、处理设备及处理设备的喷淋工艺”，专利申请号为CN202311452816.3，授权日为2024年2月2日。

专利摘要：本申请涉及一种喷淋装置、处理设备及处理设备的喷淋工艺，其中，喷淋装置包括基板、分配部和至少一个管组；分配部设有至少一个腔室，管组包括多根喷淋管，各喷淋管沿分配部的周向均匀间隔布置，喷淋管的一端与分配部固定并与腔室连通，喷淋管的另一端封堵，喷淋管背向基板的一侧沿轴向间隔设置有多个喷淋孔；分配部可转动地连接于基板，基板设有与腔室连通的进气管。本方案能够提高基片成膜均一性，并且适用于基片数量较多的情况，同时不会对基片和载具造成损坏。

今年以来微导纳米新获得专利授权6个，较去年同期增加了200%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了6390.04万元，同比增3.34%。

数据来源：企查查

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