晶盛机电获得实用新型专利授权：“冷却结构及晶圆锁定装置”

证券之星消息，根据企查查数据显示晶盛机电（300316）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“冷却结构及晶圆锁定装置”，专利申请号为CN202321953192.9，授权日为2024年1月26日。

专利摘要：本实用新型属于晶圆生产技术领域，公开了冷却结构及晶圆锁定装置。冷却结构包括冷却盘、水冷管以及多个导热件。冷却盘的一侧具有冷却面，另一侧具有冷却腔；水冷管绕设于冷却腔的腔壁内以供冷却水循环流动；多个导热件均间隔分布于冷却面，导热件的一端伸入冷却盘内，另一端伸出冷却面并用于承接晶圆的导热头。以此该冷却结构在对晶圆冷却降温时，冷却水不会因为冷却盘的变形而发生泄漏，确保冷却效果良好，有效提高了冷却效率，也不会发生冷却水污染晶圆的情况，而且还能够降低晶圆被磨损的可能性。则含有该冷却结构的晶圆锁定装置能够对高温加工后晶圆进行快速冷却，有效确保了晶圆的输送效率，有利于提高晶圆生产过程中整体的工作效率。

今年以来晶盛机电新获得专利授权9个，较去年同期增加了12.5%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了6亿元，同比增118.68%。

数据来源：企查查

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