先导智能获得实用新型专利授权：“一种真空系统及蒸镀设备”

证券之星消息，根据企查查数据显示先导智能（300450）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种真空系统及蒸镀设备”，专利申请号为CN202321211127.9，授权日为2023年12月8日。

专利摘要：本实用新型涉及真空系统技术领域，公开了一种真空系统及蒸镀设备，真空系统包括罗茨泵组、机械泵组、扩散泵组以及维持泵组，罗茨泵组连通于蒸镀设备的第一腔体和第二腔体，机械泵组连通于罗茨泵组，扩散泵组连通于罗茨泵组和第一腔体，维持泵组连通于扩散泵组和罗茨泵组之间，维持泵组用于在扩散泵组启动前，使维持泵组和扩散泵组之间的压强达到扩散泵组进行预热时所需的安全压强。采用本实用新型的真空系统，利用维持泵组使得扩散泵组之间的压强达到扩散泵组进行预热所需的安全压强，扩散泵组预热时扩散泵组的前级泵组无需持续工作，真空系统的能源消耗较小。

今年以来先导智能新获得专利授权248个，较去年同期减少了5.7%。结合公司2023年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了8.44亿元，同比增54.77%。

数据来源：企查查

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