证券之星消息,根据企查查数据显示晶盛机电(300316)新获得一项发明专利授权,专利名为“晶片表面处理设备”,专利申请号为CN202311042733.7,授权日为2023年12月19日。
专利摘要:本发明提供一种晶片表面处理设备,包括转晶机构与清理机构,转晶机构包括驱动套和从动轮,驱动套与从动轮围绕预设转料轴线周向间隔设置,以形成用于搭载圆形晶片的载料区域,驱动套与从动轮承载晶片时,转料轴线与晶片的轴线重合;清理机构包括至少两个刷辊,每个刷辊的外周能够接触晶片并形成接触段,至少一个接触段的长度小于载料直径,载料直径为载料区域沿转料轴线的垂直方向的最大尺寸。接触段作为刷辊接触晶片端面的区域短于晶片直径,因而本发明实现了缩短刷辊和晶片之间的沟槽的目的,更短的沟槽意味着残存于沟槽内的杂质及废液更少,有利于提高晶片的清洁度,通过晶片表面处理设备清理过的晶片更容易达标。
今年以来晶盛机电新获得专利授权167个,较去年同期增加了165.08%。结合公司2023年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了6亿元,同比增118.68%。
数据来源:企查查
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